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スパッタリングターゲット

スパッタリングターゲット

AGCセラミックスのスパッタリングターゲット

AGCセラミックスが長年培ったファインセラミックス材料開発の技術をベースに、原料処理から成形、焼成、加工、ボンディングの全工程を一貫生産しています。その為、高品質で安定したスパッタリングターゲットの供給が可能で、最大長さ3.8m、最大幅1.4mの平板ターゲットの製作に対応できます。

また、近年では高い使用効率が得られるロータリーカソード化が進んでおり、当社は独自の技術を用いた一体成形タイプ、溶射タイプ、ボンディングタイプの円筒ターゲットを提供しています。最大で全長3mの円筒ターゲットの製作が可能です。

一方、膜評価技術、成膜技術、アーキング(異常放電)防止技術など、ユーザー側に立った技術的バックアップを実施しています。

平板型スパッタリングターゲット

平板型スパッタリングターゲット

円筒型スパッタリングターゲット

円筒型スパッタリングターゲット

スパッタリング中の円筒ターゲット
スパッタリング中の円筒ターゲット

主なターゲット製品ラインナップ

質材 材種 形状 材料の機能 スパッタ膜の機能(酸化膜) 主な用途
平板 円筒 DC成膜 その他 耐久性 屈折率 膜質 その他
Si系 SC   SiO2高速成膜
安定放電
1.46 非晶 SiO2 ディスプレイやタッチパネルなどの低反射膜/自動車熱反硝子や建築熱反硝子の保護膜/光学膜
ST 組成比可変 1.7~2.0 非晶 無色高透明膜
SX   低アーキング性 1.7 非晶 無色高透明膜
流滴性
Nb系 NBO Nb2O5高速成膜 2.3 非晶 Nb2O5
Ti系 TXO TiO2高速成膜 2.45 非晶 TiO2
Zn系 SZ 高速成膜   2.0 非晶 無色高透明膜 Low-E用誘電体層/AR等光学膜用中間屈折膜
AZ 高速成膜   2.0 非晶 無色高透明膜
GZO   Ar成膜
低ノジュール性
  1.9 結晶 透明導電膜 ディスプレイ用光学膜/太陽電池や電気自動車や帯電防止コート用の透明導電膜
AZO Ar成膜
低ノジュール性
  1.9 結晶 透明導電膜

△:開発中

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