スパッタリングターゲット製品一覧

1．光学膜用ターゲット

用途

1. 自動車、住宅用表面処理ガラスの低放射（Low-Emissivity）膜
2. ディスプレイ用フィルム、及びガラスの反射防止膜
3. タッチパネル等の光学調整膜（インデックスマッチング膜）
4. 情報エレクトロニクス用ガラス（CD、DVDなどのミラー）の光学多層膜

材質	製品名	ターゲット形状		ターゲット		膜（酸化膜の場合）
		平板	円筒	DCスパッタ	特徴	耐アルカリ性	耐酸性	耐擦傷性	その他
Si系	SC	○		○	高速成膜(＞結晶Si) 高強度、高熱伝導率	○	○	○	n=1.46 アモルファス質
	溶射Si	○	○	○	安定放電	○	○	○	n=1.46 アモルファス質
Nb系	NBO	○	○ 溶射	○	高密度 高速成膜(＞Nb)	○	○	○	n=2.3 アモルファス質
Ti系	TXO	○	○ 溶射	○	高速成膜(＞Ti)	○	○	○	n=2.45 アモルファス質

ここに記載した品質データは参考値であり、保証値ではございません。ご注文の際の品質保証につきましては別途お打ち合わせの上決めさせていただきます。尚、記載した品質データは予告なく変更することがあります。

特徴

SC

• 高強度、高熱伝導率、均一組織のターゲットのため、長期安定放電を実現します。
• 結晶Siから成膜する場合に比べ20％以上の高速成膜を実現します。
• 酸化反応性スパッタにより、アモルファス質のSiO₂膜が得られます。
• 酸化反応性スパッタで得られた膜は、無色で高透過の膜です。

NBO

• 金属Nbから成膜する場合より3倍以上の成膜速度を実現します。
• 酸化反応性スパッタにより、アモルファス質のNb₂O₅膜が得られます。
• 酸化反応性スパッタで得られた膜は、無色で高透過の膜です。

TXO

• 金属Tiから成膜する場合に比べ7倍以上の成膜速度を実現します。
• 酸化反応性スパッタにより、アモルファス質のTiO₂膜が得られます。
• 酸化反応性スパッタで得られた膜は、無色で高透過の膜です。

2．高耐久保護膜用ターゲット・中間屈折率膜用ターゲット

用途

1. 自動車、住宅用表面処理ガラス（着色ガラス、熱線反射ガラスなど）の保護膜
2. ディスプレイ用フィルム（タッチパネルなど）の反射防止膜
3. バーコードリーダーや複写機用天板ガラスの耐擦傷保護膜
4. 耐アルカリ性、耐擦傷性を必要とするあらゆる皮膜の保護膜

材質	製品名	ターゲット形状		ターゲット		膜（酸化膜の場合）
		平板	円筒	DCスパッタ	特徴	耐アルカリ性	耐酸性	耐擦傷性	その他
Si系	SX	○		○	高密度 低アーキング性	◎	◎	◎	n=1.7 アモルファス質
	ST	○	△ 開発中	○	高密度 高速成膜(＞SX)	○	◎	◎	n=1.7～2.0 アモルファス質

ここに記載した品質データは参考値であり、保証値ではございません。ご注文の際の品質保証につきましては別途お打ち合わせの上決めさせていただきます。尚、記載した品質データは予告なく変更することがあります。

特徴

SX

• 酸化反応性スパッタによりアモルファス膜が得られ、平坦で低摩擦性を有します。
• 酸化反応性スパッタで得られた膜は、無色で高透過の膜です。
• 酸化反応性スパッタで得られる膜は、耐擦傷性、耐薬品性に優れています。

ST

• SXより高速の成膜ができます。
• 酸化反応性スパッタによりアモルファス膜が得られ、平坦で低摩擦性を有します。
• 酸化反応性スパッタで得られた膜は、無色で高透過の膜です。
• 酸化反応性スパッタで得られる膜は、耐擦傷性、耐薬品性に優れています。
• 酸化反応性スパッタで得られる膜は、流滴性があります。
• 得られる膜の屈折率はターゲット組成により1.7～2.0まで変えられます。

3．Low-E用誘電体膜用ターゲット・中間屈折率膜用ターゲット

用途

1. 建材向けLow-E（低放射）膜用誘電体膜
2. 反射防止膜など光学膜用中間屈折率膜

材料系	製品名	ターゲット形状		ターゲット		膜質
		平板	円筒	DC成膜	特徴
Zn系	SZ	○	○	○	合金ターゲット Ar成膜	n=2.0 アモルファス質
	AZ	○	△ 開発中	○	合金ターゲット Ar成膜	n=2.0 アモルファス質

ここに記載した品質データは参考値であり、保証値ではございません。ご注文の際の品質保証につきましては別途お打ち合わせの上決めさせていただきます。尚、記載した品質データは予告なく変更することがあります。

特徴

1. 円筒SZターゲットは、当社独自製法（RP法：特許出願中）によりバッキングチューブとの高い接着力を実現しました。そのため、従来の溶射法ターゲットに比べて、ハイパワースパッタによる高速成膜が可能です。
2. 全長３ｍ以上の円筒長尺ターゲットの製造が可能です。

4．透明導電膜用ターゲット

用途

1. 環境、エネルギー用ガラス（太陽電池など）の透明電極
2. ディスプレイ用ガラスの透明電極
3. 自動車、住宅用ガラス（熱線反射ガラス、電気自動車用面発熱体など）の透明導電膜
4. 繊維、フィルムなどへの帯電防止コート膜

材料系	製品名	ターゲット形状		ターゲット		膜質
		平板	円筒	DC成膜	特徴	導電性	耐薬品性	他特徴
Zn系	GZO	○		○	高密度焼結体 Ar成膜	○	×	n=1.9 低温結晶性膜
	AZO	○	△ 開発中	○	高密度焼結体 Ar成膜	○	×	n=1.9 低温結晶性膜

ここに記載した品質データは参考値であり、保証値ではございません。ご注文の際の品質保証につきましては別途お打ち合わせの上決めさせていただきます。尚、記載した品質データは予告なく変更することがあります。

特徴

1. 相対密度90％以上の高密度ZnO系ターゲットです。
2. ITOに比べてノジュールが発生しにくく、安定放電できます。
3. 純アルゴン雰囲気での成膜が可能です。
4. 室温成膜でも結晶質の膜ができます。